Silikone bieten eine hervorragende Beständigkeit gegenüber Dampf und heißem Wasser. Das Verhalten verschiedener Silikone in Dampf ist jedoch nicht einheitlich. Hochflexible Sorten sind tendenziell stabiler als solche mit hoher Festigkeit. Die Dampfsterilisation kann bei praktisch allen Silikonqualitäten durchgeführt werden und hält in der Regel mindestens sechs Monate lang kontinuierlichem überhitztem Dampf bei 120 °C stand.
Bei höheren Temperaturen nimmt die Leistung deutlich ab, da das Silikon dazu neigt, schneller auszuhärten und spröde zu werden.